本文標題："離子用質譜儀在不同工作模式中進行分析"

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離子用質譜儀在不同工作模式中進行分析

    在試樣被檢視區(qū)產(chǎn)生的離子具有原物質的成份，這些
離子用質譜儀按質荷比分類，然后在不同工作模式中進行分析:
    1.成像顯示
    在被檢視區(qū)可獲得分辨率約為2微米的圖像，圖像的亮度是
所要觀察元素、.同位索發(fā)出信號強度的函數(shù)。圖像中各區(qū)域的亮
度反映所選定觀察區(qū)內某種元素的分布情況(參看圖4-12),
    2.質量分析
    從試樣選出的離子按質荷比用雙聚焦質譜儀分類。質譜是由
質嫩范圍和控制信號強度進行掃描而繪出的。
    3.縱深剖面圖
    一方面用檢測器監(jiān)視某一同位素，另一方面腐蝕試樣，從而獲
得某一元素濃度的縱深剖面圖。該圖是以檢測器檢出作為腐蝕深
度的函數(shù)(同時也是時間函數(shù))而繪出的。
    在離子質譜儀的制造中有兩種不同的設計方案:一種方案是
離子同時轟擊試樣大面積上的所有點，然后采用一定的方法分析
被轟擊面上較小區(qū)域的離子。在這種型式的儀器中，就其形成的
整個圖像而言，它和電子顯微鏡類似，不妨把它看作離子顯微鏡，
    第二種方案是把它作成類似于電子微探針式的，可以稱之為
離子微探針。這種儀器所產(chǎn)生的圖像來自極細的聚焦離子束所產(chǎn)
生的信號，而該離子束從一定的時間間隔在所選定的區(qū)域內形成
一個掃描光柵。

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