特定X射線的強度與試樣元素含量以及從純元素檢測
與X射線熒光分析二次激發熒光相反,電子微探針分析器是利用電子轟擊直接激發。在直接轟擊中,如果轟擊電子有足夠能址,以激發某一元素A的特定X射線的話,那么,在樣品區域被激發元素A的原子數與該區域元素A的原子數成正比。 在特定束流條件下,作為一次近似而言,被激發體積與其平均密度的乘積包括同一質量或原子數量,但與其成份無關。這種情況的產生,是由于電子的阻滯作用(與電子密度有關)和電子反向散射之間具有相反的效應,并有互相抵消的趨勢所造成, 利用儀器的穩定工作狀態可知,特定X射線的強度與試樣元素含量以及從純元素取得的信號成正比。電子微探針分析比用X射線熒光分析或光學輻射光譜分析所取得的信號強度與材料濃度之間具有更好的線性關系。偏離線性的大小可以從理論上計算,從而提高精度的數量級。通過大量工作,產生了若干用以獲得較好數據的計算機方法,這些數據是由吸收和熒光校正而取得。
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