本文標(biāo)題："有關(guān)壓縮氣體微電子工業(yè)中的另一種污染傳播物"

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有關(guān)壓縮氣體微電子工業(yè)中的另一種污染傳播物

    工廠周?chē)懈鞣N空中懸浮粒子群、水蒸氣和
輻射能量它們將對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生物理、化學(xué)、生物或能量等方面的有害
影響。這里，我們將強(qiáng)調(diào)傳播的方法(即它們是從空中來(lái)的)，而不
是污染的形式。環(huán)境作用可以是直接的(粒子降落在硅片上)，也可
以是簡(jiǎn)接的(粒子降落到清洗槽里，然后再沉積于硅片上)。圖1-2
說(shuō)明了空中污染的各種來(lái)派:外界環(huán)境、工廠工人、生產(chǎn)設(shè)備或生
產(chǎn)過(guò)程中的廢料。工廠環(huán)境把其他污染源的作用加在一起構(gòu)成一
個(gè)高度的流動(dòng)體。這一環(huán)境是電子器件受到污染的主要傳播者。
所以，許多工業(yè)都把工廠環(huán)境控制和污染控制等同起來(lái)看待。
    壓縮氣體微電子工業(yè)中的另一種污染“空中”傳播物就是各
種壓縮氣體，包括壓縮的空氣、氧氣、氫氣、氮?dú)夂蜌鍤狻Ｌ峁┻@些
氣體是為了進(jìn)行表面熱處理、氧化、擴(kuò)散、晶體生長(zhǎng)、濺射、鈍化和
其他微電子工序中進(jìn)行有關(guān)的環(huán)境處理。遍布在氣體使用點(diǎn)的主
要污染形式是粒子和殘留氣體雜質(zhì)。但是，如果管道清洗或裝配
不當(dāng)，引起象焊劑、管道涂料、去垢劑殘留物這樣一些有機(jī)物，也會(huì)
使管道系統(tǒng)受到污染。所以，這些氣體必須妥善地制取、貯存和分
配，保證氣體使用點(diǎn)的供氣質(zhì)量。

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